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SELECT Institucion FROM PublicObrasAutoresFil WHERE RefPublicacion = 503590 AND InstitucionPropia = 'S' UNION SELECT Adscripciones.Entidad FROM PublicacionesObras JOIN PublicObrasAutores ON PublicacionesObras.Identificador = PublicObrasAutores.RefPublicacion JOIN Adscripciones ON PublicObrasAutores.NumeroEmpleado = Adscripciones.NumeroEmpleado WHERE (PublicacionesObras.FechaPublicacion BETWEEN Adscripciones.FechaDesde AND Adscripciones.FechaHasta OR (PublicacionesObras.FechaPublicacion >= Adscripciones.FechaDesde AND Adscripciones.FechaHasta IS NULL)) AND PublicacionesObras.Identificador= 503590

Título del libro: Materials Science And Technology Conference And Exhibition 2015, Ms And T 2015
Título del capítulo: Kintetic study of HYSY-CVI deposited Si3N4/SiO2 ceramic matrix composite

Autores UNAM:
NILOOFAR SOLTANI; AMIN BAHRAMI;

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Autores externos:

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Idioma:
Inglés

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Año de publicación:
2015

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Palabras clave:

Ceramic matrix composites; Deposition; Kinetics; Nitrides; Silicon; Silicon nitride; Dominant mechanism; Rice husk ash; Rigid surfaces; Silicon Nitride Film; Ceramic materials

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Resumen:

Analyzing the applicability of four mechanisms for describing the adsorption stage of the interaction between produced S1F4 from Na2SiF6 and N2:NH3 for condition of 0.099 < Csif4/(CNH3 + CN2) < 0.19 on a rigid surface during deposition of silicon nitride and finding the dominant mechanisms for describing the adsorption stage of the interaction between SiF4 and nitrogen-ammonia on a substrate during the deposition of silicon nitride films. Copyright © 2015 MS&T15®.

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Entidades citadas de la UNAM:

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Fuente:


ISBN:
9781510813939
Editorial:
Association for Iron and Steel Technology, AISTECH

Tipo de producto:
Conference Paper